工业废气处理的原理有活性炭吸附法、催化燃烧法、催化氧化法、酸碱中和法、生物洗涤、生物滴滤法、等离子法等多种原理。因此针对相应的工业废气，能够更好更高效的对污染物进行去除，使其工作区域相互融合，形成场强加强区，放大了各自的降解效率。使污染物降解完全，这两种方法的协同运作，废气处理塔采用五重废气吸附过滤净化系统。工业废气处理设计周密效果较好、层层净化过滤废气。

工业废气处理的种类颇多，以低温等离子技术与UV光解净化的组合为例，采用科创技术，进行技术的的组合与拆分，增强了电子的二次激发，例如低温等离子技术与UV光解净化的组合、转轮浓缩和高温等离子体焚烧技术的组合。